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中國芯片蝕刻技術國際領先。NF3進行硅芯片蝕刻時的產物均為氣體，在蝕刻物表面不留任何殘留物。該反應的微觀示意圖如圖，下列說法不正確的是（　?。?img alt src="http://img.jyeoo.net/quiz/images/202303/114/f2dc2181.png" style="vertical-align:middle" />

【答案】D
【解答】
【點評】
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發(fā)布：2024/4/20 14:35:0組卷：71引用：7難度：0.7
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