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菁優(yōu)網(wǎng)光刻機是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路(芯片)的核心設備,“浸沒式光刻”是一種通過在光刻膠和投影物鏡之間加入浸沒液體,從而減小曝光波長提高分辨率的技術。如圖所示,若浸沒液體的折射率為1.40,當不加液體時光刻膠的曝光波長為193nm;加上液體后,光在液體中的傳播速度為
2.14×108
2.14×108
m/s,波長變?yōu)?
138
138
nm。(光在真空中的傳播速度c=3.0×108m/s,計算結(jié)果均保留三位有效數(shù)字)

【答案】2.14×108;138
【解答】
【點評】
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發(fā)布:2024/6/27 10:35:59組卷:23引用:3難度:0.8
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    菁優(yōu)網(wǎng)
    (1)該波的傳播速度大?。?br />(2)從圖示時刻起再經(jīng)多長時間,x=5m處的質(zhì)點D第一次在正向最大位移處。

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